Please use this identifier to cite or link to this item:
https://rsuir-library.rsu.ac.th/handle/123456789/2381| Title: | รายงานวิจัยฉบับสมบูรณ์โครงการวิจัย การศึกษาสมบัติทางกายภาพและการยับยั้งเชื้อแบคทีเรียของฟิล์มบางแทนทาลัมออกไซด์ |
| Other Titles: | A study of physical and antibacterial properties of tantalum oxide thin films |
| Authors: | อารยา มุ่งชำนาญกิจ |
| Keywords: | ฟิล์มบาง -- เครื่องมือและอุปกรณ์ -- วิจัย;เชื้อแบคทีเรีย;แทนทาลัม |
| Issue Date: | 2558 |
| Publisher: | สถาบันวิจัย มหาวิทยาลัยรังสิต |
| Abstract: | งานวิจัยนี้ศึกษาสมบัติทางกายภาพและการยับยั้งเชื้อแบคทีเรียของฟิล์มบางแทนทาลัมออกไซด์โดยการเตรีมฟิล์มบางด้วยวิธีรีแอคทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอริงที่อุณหภูมิห้อง ในการเตรียมฟิล์มบางใช้เป้าแทนทาลัมความบริสุทธิ์ 99.995% แก๊สอาร์กอนและออกซิเจนความบริสุทธิ์ 99.999% เคลือบลงบนแผ่นซิลิกอน (100) และกระจกสไลด์ BK7 หลังจากนั้นนาฟิล์มบางแทนทาลัมออกไซด์ที่ได้ไปอบอ่อนที่อุณหภูมิ 300 500 600 700 และ 900 องศาเซลเซียส แล้วนาฟิล์มบางทั้งหมดไปวิเคราะห์ด้วยเครื่องวัดการเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์ (XRD) เพื่อหาโครงสร้างผลึกของฟิล์มบาง ลักษณะพื้นผิวชองฟิล์มบางวิเคราะห์ด้วยเครื่องส่องกราดอิเล็กตรอน (FE-SEM) และวัดค่าความหยาบผิวด้วยกล้องจุลทรรศน์แบบแรงอะตอม ตามลาดับ สมบัติการยับยั้งเชื้อแบคทีเรียจะใช้เชื้อแบคทีเรีย 4 สายพันธุ์ได้แก่ Staphylococcus aureus, Staphylococcus epidermidis, Escherichia coli และ Pseudomonas aeruginosa โดยผลการทดสอบพบว่าฟิล์มบางแทนทาลัมออกไซด์ไม่มีสมบัติการยับยั้งเชื้อแบคทีเรีย |
| metadata.dc.description.other-abstract: | This research interested in the physical and antibacterial properties of tantalum oxide (TaO) thin films that were deposited by dc reactive magnetron sputtering at room temperature. A target of tantalum (99.995%) and a mixture of high purity argon and oxygen gases (99.999%) were used to deposit tantalum oxide films on to silicon wafers (100) and BK7 glass substrate. The influence of annealing temperatures (500–900 C ) on structural morphology and antibacterial properties were investigated. Grazing incident X-ray diffraction (GIXRD), field-emission scanning electronic microscope (FE-SEM), atomic force microscope (AFM) measurements are carried out to identify the crystalline structure, film morphology and surface roughness, respectively. Antimicrobial activity was tested on 4 bacterial strains, Staphylococcus aureus, Staphylococcus epidermidis, Escherichia coli and Pseudomonas aeruginosa. The antibacterial behavior of the tantalum oxide were not active against the tested bacteria. |
| URI: | https://rsuir-library.rsu.ac.th/handle/123456789/2381 |
| metadata.dc.type: | Other |
| Appears in Collections: | Sci-Research |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Araya Mungchamnankit.pdf | 3.12 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.