ยงานวิจัยฉบับสมบูรณ์ โครงการวิจัย เรื่องการสร้างชุดอุปกรณ์กล้องจุลทรรศน์สำหรับการฉายภาพในระบบต้นแบบโฟโตลิโทกราฟีแบบไม่ใช้มาส์กแสง

Abstract

โครงการ “การสร้างชุดอุปกรณ์กล้องจุลทรรศน์สาหรับการฉายภาพในระบบต้นแบบโฟโตลิโทกราฟีแบบไม่ใช้มาส์กแสง” มีจุดมุ่งหมายในการออกแบบและผลิตชิ้นส่วนต่าง ๆ ที่ใช้สำหรับการวิจัยทางด้านแสงและการสร้างกล้องจุลทรรศน์สำหรับฉายภาพในระบบโฟโตลิโทกราฟี โดยไม่ใช้มาส์กแสง อุปกรณ์ต่างๆ ได้ผ่านการออกแบบบนโปรแกรมออกแบบสามมิติและโปรแกรมที่ใช้สำหรับสร้างภาษาจี ซึ่งเป็นภาษาที่ใช้ในการควบคุมในการทำงานของเครื่องกลึง อุปกรณ์ต่าง ๆ ถูกกลึงขึ้นจากอลูมิเนียมอัลลอยด์อุปกรณ์ทางแสงที่สร้างขึ้นสามารถนำมาสร้างทางเดินแสงของระบบกล้องจุลทรรศน์สาหรับการฉายภาพในระบบต้นแบบโฟโตลิโทกราฟีแบบไม่ใช้มาส์กแสง ซึ่งเป็นระบบโฟโตลิโทรกราฟีดัดแปลงจากระบบทั่วไป มีการใช้อุปกรณ์ฉายภาพแทนการใช้มาส์กแสง ทำให้การสร้างลวดลายด้วยกระบวนการโฟโตลิโทกราฟีทำได้สะดวกมากขึ้นและประหยัดงบประมาณในการสร้างมาส์กแสงได้ ซึ่งตัวอย่างลวดลายที่สามารถสร้างได้ด้วยระบบกล้องจุลทรรศน์สำหรับการฉายภาพในระบบต้นแบบโฟโตลิโทกราฟีแบบไม่ใช้มาส์กแสงบนกระจกปิดสไลด์ที่เคลือบด้วยสารไวแสงชนิดฟิลม์ ลวดลายที่ได้มีขนาดในระดับไมครอนลวดลายที่ได้มีหนา 30 ไมครอน กว้าง 68 ไมครอนจากการถ่ายภาพลวดลายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ดังนั้นกล้องจุลทรรศน์สำหรับการฉายภาพในระบบต้นแบบโฟโตลิโทกราฟีแบบไม่ใช้มาส์กแสงมีประโยชน์ในด้านการวิจัย สามารถสร้างช่องไหลระดับจุลภาคสำหรับการผลิตห้องปฏิบัติการบนชิพและเกรตติงซึ่งสามารถนำมาใช้เป็นส่วนหนึ่งในการสร้างระบบในการตรวจจับคลื่นอัลตราซาวน์ที่จะทำต่อไปในอนาคต